AMBERJET UP6040是一种专门为了用于高纯度的水处理系统中的精制器所设计,制造生产的半导体级混床离子交换树脂。此预先混合的产品是由依当量平衡比例的高交换容量,完全再生的凝胶型强酸阳树脂及强碱阴树脂所组合的。这些树脂是经由罗门哈斯公司喷射制程(jetting process)所生产的物理及化学稳定性的均一颗粒型树脂。二种树脂颗粒大小的分布是经过设计,以避免当树脂与水搅拌时,阳阴树脂因为重力的不同而分离。如此的设计,可确保精制塔内的混床树脂是完全混合的,并发挥交换平衡效益。均一颗粒的特性使得树脂加强了混床树脂的离子交换速率,使得树脂可操作于较高的采水流量,并达到压差及纯度的平衡点。上述的特点,使得此树脂可在消耗最少的清洗水情形下,得到高纯度的纯水。
AMBERJET UP6040是因应使用于半导体产业的超纯水系统,及其它类似用途的需求,所设计的不再生型精制混床树脂。此树脂的使用,使得所有种类的离子,如二氧化硅、TOC及次微米颗粒浓度等的泄漏量,进入了新纪元。由于为不再生型,此新种类的半导级混床树脂不会受到再生系统的影响,并可在采水中发挥特性。AMBERJET UP6040并不建议用于可再生的混床系统中。
应用及特性:
在半导体厂内的超纯水处理系统是一庞大的,复杂的系统,并包含了许多不同的单元,而整个系统的功能及设计主要是为了得到超纯水。虽然没有任何单一的单元可以确保采水水质,但是精制混床是超纯水在接触到半导体芯片前的一道化学精制的处理程序,其重要性是不可忽视的。不像对化学物质呈现惰性的管路及过滤材料,离子交换树脂是带化学性反应的聚合物,所有的待处理水会完全的通过树脂,因此精制混床树脂是除去微量化学污染物质的一道防线。除此之外,这些树脂绝不能释出任何物质,进而污染到不能间断的超纯水供水系统。
流量及压差:
流量是非常重要的设计参数。对终端精制混床树脂而言,体积流量不应低于30BV/h (3.8gpm/ft3)。在流量高达50BV/h (6.3gpm/ft3)的操作条件下,也是经常所采用的设计,在某些系统,所设计的流量是略高过此数据。因此流量的设计是由具经验的超纯水处理系统制造商,依系统的供水纯度要求及工程参数之间,折衷权衡后所获得的选择。而AMBERJET UP6040可以满足这些设计中,对终端精制混床树脂的所有要求。
颗粒泄漏:
AMBERJET UP6040是用于超纯水系统中减少颗粒泄漏量的树脂,其概念与多年来描述树脂的颗粒大小及细微粒(fines)的定义是有所不同的,而是与树脂表面上微米(sub-micron)的细小颗粒有关。这对树脂的制造而言,是一个相当新的概念,因为让树脂表面保持非常的平滑、干净,同时防止因树脂的相互磨擦,所造成的剥落情形。在此概念下,AMBERJET UP6040的组成阳阴树脂,在颗粒聚合的生产开始阶段时,即开始控制减少树脂表面次微米颗粒的释放。
虽然AMBERJET UP6040仍然不是完全没有颗粒的释放,但相较其它用于类似用途的树脂,它已经是大幅减少颗粒的排放。虽然系统中的终端过滤器仍然是确保超纯水产水中,不含任何颗粒的主要单元。AMBERJET UP6040的使用将大幅减少在新树脂采水初期,大量颗粒释放所产成的过滤器瞬间负荷。较少终端精制混床树脂颗粒的释放,表示终端过滤器较长的使用寿命及过滤效果。
操作温度:
温度是另一个影响终端精制混床树脂效能的重要参数。对混床而言,较高的操作温度将会造成二氧化硅及TOC的泄漏量增加,同时亦可能造成较高的硼离子泄漏。由于使用具高能量的氧化TOC 紫外线束设备,进入终端精制循环系统的水温会因此而提高。为了从终端精制混床得到采水水质,将水温维持在低于摄氏25度是非常重要的。终端精制混床是可以工作在较高的水温,但也会因此而造成较高的离子泄漏量及较短的使用寿命。在已操作一段时间的精制混床中,当入水水温瞬间上升时,常会造成明显,可监测的TOC或二氧化硅泄漏量提升。这现象类似树脂的终结,但实际上因于较高入水水温所造成的平衡转移现象。
Table 1: Suggestd Operating Conditions for Best Results
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入水温度 15-25oC (60-77 oF)
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床深 900mm (8 feet)
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采水流速 30到50BV*/小时
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建议入水水质
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入水水质 >17MW-cm
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入水二氧化硅浓度 <2ppb
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入水总有机碳浓度(TOC) <15ppb
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1. 此树脂可用于此建议之外的操作条件,但结果可能不是理想的。
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2. 1BV(床容积)=每1m3树脂为1m3溶液
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树脂基本特性:
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在不再生的终端精制应用上,超纯水的质量是远较树脂的基本特性来的重要,但所使用的树脂特性以得到的效能及使用寿命仍然是不可忽视的。AMBERJET UP6040的主要树脂特性如下表所示 ,这些数据显示了组成AMBERJET UP6040的阳阴树脂特性,而这些特性赋予AMBERJET UP6040高交换容量、均一颗粒大小等的严格树脂标准。
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Table 2: Typical Properties of Amberjet UP6040 Component Resins
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阳树脂H+ 阴树脂OH-
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含湿量,% 44.0-51.0 54.0-60.0
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总交换容量,eq/L ³2.00 ³1.10
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均一系数 £1.20 £1.20
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H型,%含量 ³99 -
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OH型,%含量 - ³95.0
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Cl型,%含量 - £0.5
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CO3型,%含量 - £5.0
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SO4型,%含量 - £0.1
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质量保证:
罗门哈斯公司针对AMBERJET UP6040测试了电阻值、总有机碳值及离子交换速率的特性,保证每批次的AMBERJET UP6040均能符合生产超纯水所需要非常严苛的特性参数,并可满足使用单位的需求。